SEMI E5 · E30
GEM200 基础指令
按常用 SECS-II 请求与应答逐条理解设备通信，建立可用于联调和实现的消息基础。
COURSE LIBRARY · 课程中心
从基础指令，
读懂设备通信。
当前课程体系只保留 GEM200 与 GEM300 两个方向。GEM200 已开放文章目录；GEM300 正在整理，发布前不会触发登录或权限判断。
MODULES / 01—02
学习模块
模块目录公开浏览。进入已发布文章时再进行登录及对应层级的权限检查。
SEMI E40 · E87 · E90 · E94
GEM300 基础指令
面向 300 mm 工厂自动化的载具、基板、作业与工艺管理基础指令。