EQUIPMENT COMMUNICATIONS · 设备通信

把复杂的
SECS/GEM
讲清楚。

面向设备工程师、自动化开发者与半导体从业者的中文知识库。从第一条消息，到完整的 GEM 设备模型。

2 个学习模块E5 · E30 · E37 核心脉络中文原创讲解

LIVE PROTOCOL VIEW SELECTED

HOSTFAB HOST192.168.10.21

HSMS-SS→

EQUIPMENTPROCESS TOOLSESSION 01

10:24:18.042S1F13Establish Communication RequestSENT

10:24:18.058S1F14Establish Communication AckACK

10:24:18.410S1F1Are You Online?SENT

LINK STATUS ACTIVET3 45.0 sDEVICE 0001

LEARNING PATH · 学习路径

从连接，到理解设备。

先建立协议全景，再深入消息、状态与设备能力。登录后即可进入基础课程。

01已发布

SEMI E5 · E30

02待更新

SEMI E40 · E87 · E90 · E94

STANDARD MAPE4SECS-IE5SECS-IIE37HSMSE30GEM