SEMI E5 · E30
S1F1 / S1F2 — Are You There Request
理解在线识别、设备身份应答以及 Equipment 请求进入 ON-LINE 时的方向差异。
SEMI E5 · E30 · MODULE 01
GEM200 基础指令
按常用 SECS-II 请求与应答逐条理解设备通信，建立可用于联调和实现的消息基础。 文章目录可以公开查看，打开正文时需要登录。
LESSONS / 06
文章目录
按顺序学习请求、应答、方向、消息结构和现场实现注意事项。
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S1F3 / S1F4 — Selected Equipment Status
按 SVID 查询设备当前状态，正确处理返回顺序、数据类型和不存在的变量。
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S1F11 / S1F12 — Status Variable Namelist
按 SVID 查询状态变量的名称和单位，正确处理全量目录、未知变量与事务匹配。
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S1F13 / S1F14 — Establish Communications
正式建立或恢复 SECS-II 应用层通信，正确处理双向结构、COMMACK、重试与状态同步。
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S1F15 / S1F16 — Request OFF-LINE
由 Host 请求设备转入 HOST OFF-LINE，正确处理 OFLACK、S1F0 与控制状态边界。
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S1F17 / S1F18 — Request ON-LINE
由 Host 请求设备恢复 ON-LINE，正确区分 HOST OFF-LINE、ONLACK 与 LOCAL/REMOTE。